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基于豐富的產(chǎn)品，針對(duì)不同行業(yè)特性，深入場(chǎng)景，提供智能制造綜合解決方案，助力企業(yè)智能化改造和數(shù)字化轉(zhuǎn)型。 -
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集團(tuán)成員
EN
VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，自主研發(fā)安全可控，可全面替代進(jìn)口品牌。
產(chǎn)品描述
3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
VA5204_VA系列半導(dǎo)體機(jī)器人
- ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長(zhǎng)及Z軸行程
- ● 采用閉環(huán)伺服控制
- ● 末端執(zhí)行器類(lèi)型：下托式
- ● 可選配免電池絕對(duì)式編碼器
臂長(zhǎng)
520mm
額定/最大負(fù)載
2kg
搬運(yùn)物
≤Φ300mm晶圓
關(guān)鍵詞：
新時(shí)達(dá)眾為興VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
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