CA26_單軸大氣晶圓片盒搬運(yùn)機(jī)器人

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CA26_單軸大氣晶圓片盒搬運(yùn)機(jī)器人
CA單軸大氣晶圓片盒搬運(yùn)機(jī)器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進(jìn)口品牌。
產(chǎn)品描述
單軸大氣晶圓片盒搬運(yùn)機(jī)器人
CA26_CA系列半導(dǎo)體機(jī)器人
- ●采用閉環(huán)伺服控制
- ●可選配免電池絕對(duì)式編碼器
- ●可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長(zhǎng)
臂長(zhǎng)
260mm
額定/最大負(fù)載
3kg
搬運(yùn)物
4~8寸晶圓片盒

關(guān)鍵詞:
新時(shí)達(dá)眾為興CA26_單軸大氣晶圓片盒搬運(yùn)機(jī)器人
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